纯国产!中国制造,电性失效分析设备商凌光红外
来源:芯榜+发布时间:2023-02-103141浏览
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引言
2022年,长期由外国设备垄断的电性失效分析领域风云突起
国产电性失效分析设备厂商——凌光红外力斩破冰,横空出世

寇可往,吾亦可往!


如果说,芯片生产是一场沙盘上精微踔厉的战争,在厉兵秣马,查漏补缺时,电性失效分析就是头等重要的战略后盾。
锁相红外显微镜(Thermal EMMI)、微光显微镜(InGaAsEMMI)、激光诱导电阻检测(Obirch/Tiva)、这三款电性失效分析设备就像芯片医院中的“X光机”、“核磁共振”,能够高效准确地协助半导体从业者锁定器件失效位置、查找失效原因、纠正设计和研制中的错误。

然而,在过去的十数年中,中国电性失效分析设备的战略命脉却身不由己、操控在外人之手——设备本身的高难度设计、难以掌握的面阵锁相技术,导致商用设备被进口科学仪器巨头们所垄断,使得中国用户长期处于弱势地位。随着中美愈演愈烈的“高科技之战”,国内企业更由于突如其来的制裁,无法获得电性失效分析设备,造成芯片检测的重要环节缺失,何其痛切!

2022年,首家国产电性失效分析设备厂商——凌光红外力战破冰,横空出世。攻克各道技术难关,自主研发并投产锁相红外显微镜系列产品,首批设备已完成交付。


产品介绍


Luxet Thermo 100
制冷锁相红外显微镜


制冷锁相红外显微镜参数:
制冷型中波红外相机 | 3.7-4.8μm(锑化铟,碲镉汞) |
热灵敏度 | 0.1mK |
物镜 | WA,1X,8X |
高电压,电流输出 | ≤3000V,≤3A |
全国产化供应链 | 中国合肥 |
Thermo100是一款全新的锁相红外显微成像系统。配备了全自动运动系统、高灵敏度制冷型中波红外相机、广角镜头与大倍率显微镜头、高压源表,可以适用于晶圆、电路板等多种不同种类器件的失效点定位。
2022年12月,凌光红外自主研发的首台国产Luxet Thermo 100成功落地,交付于国内半导体顶级三方实验室,顺利运转,受到好评。且令人惊喜的是,经过研发团队的努力,在实际测量过程中,本设备的热点探测灵敏度甚至超越国际旗舰水平。

热点定位能力对比


产品介绍


Luxet Thermo 50
非制冷锁相红外显微镜


Thermo50是一款基于非制冷红外相机的锁相红外显微成像系统。配备了电动垂直运动系统、高帧频长波红外相机、广角镜头与显微镜头、高压源表,可以适用于封装器件、电路板等多种不同种类器件的失效点定位。

非制冷锁相红外显微镜参数:
非制冷型长波红外相机 | 8-14μm |
热灵敏度 | 1mK |
物镜 | WA,0.85X |
全国产化供应链 | 中国合肥 |
凌光红外诚挚欢迎大家进行送样检测,提出指标和个性化定制。我们将持续改进,合作共赢。为每一位用户提供优质、稳定、高效的国产关键设备和服务。笔者也在此预告:2023年4月,凌光红外将正式发布商用微光显微镜,首批设备客户即将进行验收与性能评估,尽请期待!
过去的两年中,我们经历了电性失效分析国产之路的举步维艰,扼腕之叹,但这一切,更激发了凌光红外向世界顶尖水平发起冲锋的信念。千年一瞬,汉武大帝的豪情时常在我们心中回荡——寇可往,吾亦可往!
最后,亲身经历过制裁的我们,会倾尽全力,让全国产化的失效分析、热点定位设备能普及到中国半导体/泛半导体界的每一个角落。
关于凌光红外

凌光红外成立于2021年12月。是国内首家以锁相成像技术为核心,为半导体、科研、工业检测、生物医疗提供先进的纳米光学检测技术和高端光学设备的企业。
目前公司主要致力于半导体电性失效分析设备的研发与生产,包括锁相红外热像仪(Thermal EMMI),微光显微镜(EMMI),激光诱导电阻检测(Obirch)。
公司团队成员毕业于哥伦比亚大学、上海交通大学、复旦大学、浙江大学等一流高校,并在Facebook,上海微电子装备,上海航天院等知名企业有过丰富的工作经历。
如果您有设备需求,欢迎垂询凌光红外
电话:13701976589
邮箱:business@luxetlghw.com
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