万业企业：嘉芯迦能铝铜PVD设备成功中标特色工艺线项目

集微网消息，据必联网发布的中标结果公告显示，2月7日，万业企业旗下嘉芯迦能的铝铜金属溅射设备(PVD)成功中标上海积塔半导体特色工艺生产线建设项目。

另据资料显示，自2022下半年开始，万业企业旗下嘉芯半导体多次中标多款设备，包含快速热处理(RTP)、氮化硅等离子刻蚀机、金属等离子刻蚀机、侧墙等离子刻蚀机、高密度等离子薄膜沉积及二氧化硅等离子薄膜沉积设备等。

去年10月底万业企业披露，子公司嘉芯半导体已开始具备多种前道设备品类的平台能力，下半年起中标刻蚀、薄膜沉积和热处理等多类前道设备。10月，嘉芯半导体旗下嘉芯迦能首台CVD设备成功交付客户，迎来产业化的重要里程碑。

（校对/陈兴华）