凯美特气进入ASML子公司Cymer光刻气产品供应商名单

集微网消息 2月2日，凯美特气发布公告称，公司控股子公司岳阳凯美特电子特种稀有气体有限公司于2023年2月2日收到ASML子公司Cymer公司发来的合格供应商认证函，凯美特电子特种气体公司生产的光刻气产品通过了Cymer公司审查，Cymer公司已将凯美特电子特种气体公司光刻气产品列入合格供应商名单。

ASML子公司 Cymer 是世界领先的准分子激光源提供商，是深紫外技术的行业领导者，是 ASML 集团内一家独立运营的企业。Cymer 公司发明了如今半导体制造中最关键的光刻技术所需的深紫外（DUV）光源，开发、制造和服务深紫外（DUV）光源。产品组合包括使用氟化氩（ArF）或氟化氪（KrF）气体产生深紫外光的准分子激光器。产品主要特性是：带宽窄，运行速度高，可靠性强。Cymer光源在批量生产符合特定规格的世上最先进的半导体芯片时起着决定性的作用。

凯美特气表示，公司光刻气产品通过Cymer公司的合格供应商认证，是Cymer公司对公司在光刻气生产领域的生产能力、产品质量的认可，也是公司先进的产品生产技术、钢瓶内壁处理技术、气体分析技术等各方面综合实力、竞争优势的体现。本次认证通过有利于公司提高在光刻气领域内的认可度和知名度，使公司的电子特气产品走向国际化，对公司拓展光刻气产品销售业务具有积极作用。

其进一步称，公司获得ASML子公司Cymer公司合格供应商认证函体现了头部光刻机激光设备厂商对公司光刻气产品的认可。Cymer 公司本身不直接采购光刻气产品，本次认证暂时未对公司的光刻气产品营业收入、利润产生直接影响。