微导纳米：公司目前在手订单充足 半导体设备订单覆盖逻辑芯片/存储芯片等领域

集微网消息 近日，微导纳米在接受机构调研时表示，公司目前在手订单充足，截至 2022 年 9 月末，公司已取得在手订单 19.75 亿元，其中专用设备在手订单合计 18.56 亿元，专用设备在手订单中毛利率较高的 ALD 设备的占比为 85.66%。光伏设备订单中绝大部分都是新型高效电池设备，半导体设备订单覆盖逻辑芯片、存储芯片、化合物半导体、新型显示芯片等领域。

其进一步称，公司 ALD 设备可用于正面 Al2O3 钝化层的制备，PECVD 设备可用于正反面的 SiNX薄膜制备，PEALD/PECVD 二合一设备可用于背面超薄隧穿氧化层（SiO2）和多晶硅层（Poly-Si）的制备，羲和系列设备可以完成扩散、退火等步骤。目前公司用于 TOPCon 电池的设备均已实现产业化应用，并已完成了 GW 级别产线的验证。

同时，微导纳米积极响应下游厂商 XBC 电池结构的开发和优化需求，并根据下游厂商在 HJT 电池、钙钛矿叠层电池等其他新型高效电池的量产节奏完善相关的技术储备和产品。截止目前，公司已取得了 XBC 电池、钙钛矿异质结叠层电池订单。

对于国内半导体 ALD 设备国产化情况，微导纳米表示，目前半导体设备仍处于国产化大周期下，薄膜沉积设备的国产化率也处于偏低的水平。公司在逻辑芯片、存储芯片、化合物半导体、新型显示芯片等多个半导体细分应用领域都有布局，也已经取得了相应订单。