如何去分析BAW谐振器？？

大家好，这里是【射频学堂】，上周我们推出了关于 BAW 滤波器设计的第一讲内容：BAW谐振器基础，在这篇文章中，我们一起回顾了BAW谐振器的发展历史，并且对比着微波谐振器我们一起学习了BAW谐振器的两种结构：FBAR和 SMR，同时也复习了一边压电材料的特性。今天我们接着学习BAW谐振器的分析模型和关键参数。

谐振器是组成微波器件的关键结构，同样BAW谐振器也是这种声波芯片滤波器等相关声波器件的关键。

这篇文章开始之前呢，我们再复习一下FBAR和SMR这两种最常见的BAW谐振器的结构特点。FBAW 薄膜体声波谐振器，也叫做空腔型体声波谐振器，SMR 叫做固体装配型谐振器，也叫做固态反射阵型谐振器，这两个名称更好的区分了这两种BAW的区别—— 空腔 VS 反射阵。这个我们通过微波谐振器对比着再来学习一边，压电陶瓷的厚度和声波的波速决定了这个BAW谐振器的频率，但是要形成谐振，还有个必要条件，就是全反射形成驻波。空腔型谐振器FBAR，就是在压电陶瓷上下电极面都形成空气边界形成类似于两端开路的微波谐振器的全反射条件。而固态发射阵型谐振器SMR的压电陶瓷上面形成空气边界，而下面电极则利用高低声阻抗薄膜交替叠放形成Bragg 反射来形成全反射条件。但是Bragg反射器只能对大部分声波进行反射，依然有少部分声波能量泄露，其反射效果要低于空腔型，所以SMR谐振器的Q值也低于FBAR，但是功率容量和结构稳定性要优于FBAR。

图1BAW谐振器常见结构