美国游说荷兰禁售DUV设备输中 恐严重影响ASML短期营收

日前传出美国要求半导体微影设备大厂艾司摩尔(ASML)勿将成熟的深紫外光(DUV)微影设备出售给国内。分析师认为，ASML若听从美国要求，停止出售更多设备给国内，将严重影响该公司的营收。在先进芯片制造设备领域具垄断地位的ASML目前并未向国内销售极紫外光(EUV)微影系统，使得国内无法制造用于最新智能手机的尖端芯片。

据南华早报引述彭博(Bloomberg)报导，荷兰政府日前表示华府希望进一步阻止ASML向国内出口DUV微影系统，对此，ASML仅低调回应目前尚未做出任何决定。上海半导体顾问公司芯谋研究总监王笑龙表示，如果禁止ASML将DUV设备销往国内，该公司可能会损失高达20亿美元的收入，造成的影响远高于EUV禁售令。

DUV被广泛应用于芯片制程，专家表示，这项禁售提议将使计划扩充28纳米、55纳米和65纳米等成熟节点产能的晶圆代工厂首当其冲。

致力推动半导体自给自足的国内极需要ASML设备，而且别无选择。国内目前尚无法自制DUV系统，一旦设备无法进口，将造成巨大影响。

ASML自2007年开始提供沉浸式DUV技术，是芯片制造产业的主力微影系统，每天都在为包括汽车、智能手机、物联网和穿戴装置在内的终端市场生产芯片。

王笑龙表示，ASML目前有4款沉浸式DUV系统及5款旧型的乾式DUV系统可供销售。沉浸式系统是28纳米生产线的必备设备，同时也需要其他旧型微影系支持作业，因此禁售沉浸式系统也会影响到ASML其他类型机器的销售。根据ASML 2021年年报和ASML China提供的数据，2021年ASML销往国内大陆的DUV系统金额达27.4亿欧元，占ASML净销售额186亿欧元的14.7%。沉浸式DUV系统的销售额占ASML 2021年系统总销售额137亿欧元的36%，EUV系统则占46%。

不过Semiconductor Advisors总裁Robert Maire指出，ASML仍然可将整套工具出售给非国内的芯片制造商。长期来看，此禁令对ASML没有太大的影响，只有送货地址会发生变化。

在ASML被禁止向国内出口EUV系统的情况下，中芯国际和华虹半导体等国内晶圆代工厂已将重点转移至28纳米及以上的成熟节点。而国内当地半导体设计公司对成熟制程的旺盛需求让中芯国际和华虹2021年的营收成长均破纪录。

2月份，美国商务部将国内微影设备技术领先厂商上海微电子(SMEE)以及另外32家国内企业纳入出口管制实体清单，限制进口美国的技术和产品。SMEE最先进的微影系统可用于90纳米芯片的制造。

责任编辑：张兴民