满足逻辑芯片也要巩固DRAM产能 三星抢ASML EUV设备不会手软

在供应链短期内扩产问题难解后，微影设备大厂ASML对于2022年EUV曝光机台出货预估，仍维持55台规模。然在台积电、三星晶圆代工(Samsung Foundry)、英特尔(Intel)等逻辑芯片一线厂扩产声中，三星存储器(Samsung Memory)、SK海力士(SK Hynix)、美光(Micron)等DRAM颗粒大厂也陆续导入EUV曝光机台装机量产。

研调机构估计，即便以各大厂2021年底、2022年初释出的资本支出预算来推算，产能扩建后所需求的EUV曝光机台，业已凸显ASML供不应求的窘境，估计2022年EUV系统缺口达20台左右；随着三星电子(Samsung Electronics)近来加大扩产力道，与追赶台积电、SK海力士、美光等对手企图心，预期三星在逻辑芯片与DRAM量产所需的EUV机台需求，恐将比原先估计来得高。

据SemiWiki、Seeking Alpha报导，研调机构Khaveen采用IC Insights、AnandTech相关各业者扩产资本支出(Capex)与产能扩建数据，估算出与台积电专注晶圆代工估计2022年EUV机台需求28台相比，三星必须同时兼顾晶圆代工与DRAM业务对EUV曝光的需求，虽然从先前资本支出预算与产能增来估计，三星2022年EUV机台需求合计达7台。

但问题在于，三星不仅在先进制程晶圆代工深化与推进5／4／3纳米节点，仍需EUV机台支持产能增；即便在DRAM量产新时代产品上，恐怕个位数字的EUV机台也难与SK海力士传出将取得10～20台EUV系统相抗衡，尤其SK海力士取得的EUV机台更专注在DRAM量产，但三星庞大的Capex却必须分给晶圆代工与DRAM等各部门采购设备所需。乍看之下，投资数字很惊人，但在各部门分食下，如何支撑三星庞大企图心，其实魔鬼藏在细节中。

尤其是，尽管三星截至目前为止，并未如台积电、英特尔释出明确2022年资本支出预算数据，仅表示不会比2021年少，又不时表态将加码再加码投资，但以EUV系统打造与取得而言，不仅部分关键供应商短期内扩产有难度，而且整机测试完成后、再到客户晶圆厂内装机试产等时程，时间长达6～9个月不等。

不过，ASML看在半导体业者诚意祭出大手笔采购，也提出加快交货(fast shipment)的变通性作法：相较于此前EUV系统先在ASML工厂内完成测试后才交货客户，如今针对部分急需的客户，ASML把最后的厂内测试延后到在客户晶圆厂内进行，也就是先交货给客户，但要等到一切测试通关后，才延后认列营收入帐，如此作法多少也争取几周到几个月的时间，取决于最后测试时程而定。

责任编辑：张兴民