沪硅产业邱慈云：新昇本季度出货量超300万片，国产大硅片或崛起

芯东西（公众号：aichip001）作者 | 高歌编辑 | Panken

芯东西11月3日报道，昨日，2021年中国集成电路制造年会高峰论坛在广州举行。

会上，上海硅产业集团总裁、上海新昇CEO邱慈云发表了《国产大硅片崛起的机遇与挑战》演讲，分享了有关国产大硅片崛起的情况。

▲上海硅产业集团总裁、上海新昇CEO邱慈云

他提到沪硅集团下属有三个子公司，也是法国硅片厂商Soitec的并列大股东之一。其中，上海新昇是国内唯一大量供货正片的300mm大硅片企业，其自2017年第一次正片送样以来，每年都有新的动作。预计在今年年底，其安装产能可达30万片每月。

从整个行业来看，硅片市场竞争非常剧烈，从1998年的超过25家厂商，至今5家巨头垄断了超过90%的市场份额，而这5家公司都没有在中国本土建立产线。

根据IC Insights的数据，300mm晶圆厂在不断增加，而这也意味着12英寸硅片市场将迎来发展。2020年，全球每个月的12英寸硅片需求达到700万片。

沪硅产业的客户在国内主要分布于长江珠三角、台湾等地区，全球来看在美国和欧洲都有客户。这也得益于沪硅产业和供应链上下游的合作。

在技术方面，大硅片的核心技术在于晶体生长、表面颗粒、平整度、金属/杂质等指标环节上。当前上海新昇的大硅片产品覆盖逻辑、CIS、特色工艺、存储等多个领域，在这些领域实现了认证、量产。随着产品通过各个领域厂商的认证，上海新昇的销售额也迎来了增长，出货量本季度已超300万片，器件用正片销售额比例超过6成。

最近一年，上海新昇也提升了自身外延片产品的性能，消除了硅片边缘的MCLT环，提升了硅片边缘的良率，从而使整张晶圆的器件利用率上升。

▲上海新昇通过消除边缘MCLT环提升晶圆利用率

经过研发后，上海新昇的近完美单晶（NPS）有效长度突破75%，可以有效地支撑存储领域的芯片生产。在金属杂质检测方面，上海新昇提升了自身表面检测敏感度。

邱慈云也分享了上海新昇面向5G射频应用的低氧高阻特殊晶体、提升射频性能的电磁俘获以及对300mm SOI硅片的技术开发。当前，上海新昇已经申请了873项专利，产品覆盖国内主要Fb的逻辑器件、主流存储器件，已开启特色工艺的研发，将会在2022年扩产月产30-60万片的产能。