无锡厂引入EUV设备恐受阻?SK海力士回应来了
来源:半导体前沿发布时间:2021-11-23937浏览
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此前媒体报道称,由于美国的反对,SK海力士可能无法将EUV设备引入其在中国无锡的工厂。据businesskorea 最新报道,SK海力士CEO李锡熙驳斥了这一传言。

图源:businesskorea
据悉,李锡熙在韩国首尔三城洞COEX举行的第14届半导体日仪式后对记者表示,SK海力士从7月开始在韩国利川工厂使用EUV光刻设备批量生产1A(第4代)纳米产品。关于引进EUV设备到中国无锡工厂一事,我们还有足够的时间,所以我们将通过与美国政府的合作,把设备引进到该工厂。
此前媒体报道指出,SK海力士计划在无锡半导体工厂引入ASML的EUV光刻机,来提高工艺技术的稳定性。但这一计划恐遭到美方反对,理由是“担心中国或将此项技术运用于提高军事能力,从而对美国产生安全威胁”。
当被问及是否允许 SK 海力士向中国工厂引进 EUV设备时,一名白宫高级官员表示拒绝置评,但他重申拜登政府坚持防止中方利用美国及其盟国技术开发尖端半导体这一方针不会改变。
第四届中国半导体大硅片论坛
(12月8日·杭州)
会议名称:第四届中国半导体大硅片论坛
会议时间:2021年12月8日
会议地点:杭州
会议主题:产业政策、市场供需、技术与经济、项目布局、创新应用
主办单位:亚化咨询
日程安排
会议日程 |
硅外延片的生产技术及市场需求 ——合晶科技股份有限公司 |
集成电路用硅片未来发展技术趋势 ——国内半导体硅片厂 |
重掺As衬底上的外延工艺/SOI技术 ——上海新傲科技股份有限公司 |
标题待定 ——杭州中欣晶圆半导体股份有限公司 |
半导体大尺寸单晶生长的挑战 ——南京晶能半导体科技有限公司 |
电子级多晶硅国产化 ——青海黄河上游水电开发有限责任公司新能源分公司 |
中美贸易战和瓦森纳协议对中国半导体大硅片产业发展影响 ——国内某存储企业 |
标题待定 ——江苏鑫华半导体材料科技有限公司 |
标题待定 ——Soitec |
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