中微公司拟增资上海睿励1亿元 布局集成电路工艺检测设备领域

上海睿励成立于 2005 年 6 月 27 日，上海睿励致力于集成电路生产前道工艺检测领域设备研发和生产，是国内少数几家进入国际领先的 12 英寸生产线的高端装备企业之一，并且是国内唯一进入某韩国领先芯片生产企业的国产集成电路设备企业。上海睿励主营的产品为光学膜厚测量设备和光学缺陷检测设备，以及硅片厚度及翘曲测量设备等。上海睿励自主研发的 12 英寸光学测量设备 TFX3000 系列产品，已应用在 65/55/40/28 纳米芯片生产线并在进行了 14 纳米工艺验证，在 3D存储芯片产线支持 64 层 3D NAND 芯片的生产，并正在验证 96 层 3D NAND 芯片的测量性能。上海睿励应用于 LED 蓝宝石衬底图形检测的自动光学检测设备，也已成功销售到众多国内 LED PSS 衬底和 LED 芯片生产线。

 

目前，上海睿励正在开发下一代可支持更高阶芯片制程工艺的膜厚和 OCD 测量设备以及应用于集成电路芯片生产的缺陷检测设备，进一步扩大可服务的市场规模。截止 2020 年 11 月 30 日，上海睿励拥有专利 87 项，软件着作权 39 项，注册商标 8 项，作品着作权 1 项及备案域名 2 项。

 

集成电路芯片生产设备包括光刻、刻蚀、薄膜、工艺检测、清洗、离子注入等诸多个细分种类。工艺检测设备是为芯片生产各工艺提供监测数据以确保各项工艺指标满足要求从而提高成品率的关键性设备。根据SEMI发布的近几年的年度统计，工艺检测设备市场规模约占半导体芯片制造工艺设备的13%，是仅次于光刻、刻蚀和薄膜的第四大细分设备领域。随着芯片工艺不断向更小节点发展，芯片生产过程中的所需检测的步骤和频次越来越高，对工艺检测设备的需求量随之增加。

 

中微公司表示，公司在集成电路刻蚀设备领域的研发和市场化方面已经取得了一定的成果，前期通过投资国内领先的薄膜设备公司沈阳拓荆科技有限公司在集成电路薄膜设备领域进行了布局。本次投资上海睿励将使公司能够布局集成电路工艺检测设备领域。公司同上海睿励的客户和供应商有高度重叠，通过本次投资，能进一步形成产业链协同效应。投资上海睿励是公司聚焦并落实高端芯片设备战略的又一步骤，系公司为完善业务布局而进行的投资。通过对上海睿励的投资，公司有望与上海睿励形成协同发展效应，不会损害公司和全体股东的利益。
 

此外，中微公司近期还入股了另一家半导体设备厂商——上海理想万里晖薄膜设备有限公司（以下简称“理想万里晖”）。

 

资料显示，12月24日，理想万里晖发生了股权变更，原股东之一理想能源设备（上海）有限公司退出，新增中微公司、三峡绿色产业（山东）股权投资合伙企业（有限合伙）、上海毅达鑫业一号股权投资基金合伙企业（有限合伙）等股东，其注册资本从8455.33万元增至1.46亿元。中微公司本次认缴出资额为约563.689万元，持有理想万里晖3.8499%股权。

 

资料显示，理想万里晖前身是理想能源PECVD事业部，2012年经过拆分重组，于2013年完成注册。2020年，理想万里晖完成A+轮融资，并落户上海临港新片区。理想万里晖主营太阳能、泛半导体和半导体高端PECVD装备，系列光伏和AMOLED显示等领域高端PECVD系列产品多次打破国外垄断、填补国内空白。理想万里晖表示将继续致力于前沿高端光伏设备的研发，并将在现有基础上延伸产业链，开发大面积石墨烯和集成电路半导体领域用PECVD设备。