中微半导体设备近日宣布，福建法院同意了中微针对Veeco上海的禁令申请，该禁令立即生效执行，不可上诉。该禁令禁止Veeco上海进口、制造、向任何协力厂商销售或许诺销售侵犯中微第CN 202492576号专利的任何化学气相沉积装置和用于该等装置的基片托盘。该禁令涵盖TurboDisk EPIK 700、EPIK 700 C2 和EPIK 700 C4机型的MOCVD设备，以及在该等MOCVD设备中使用的基片托盘。

中微于2017年7月向福建法院正式控告Veeco上海专利侵权，申请对Veeco上海发布永久禁令，并赔偿中微经济损失人民币1亿元以上。另外，中微将于美国当地时间2017年12月8日向美国专利商标局(USPTO)专利审理暨诉愿委员会(PTAB)递交无效Veeco美国专利(US 6,726,769)的请求。该项关于可分离基片托盘技术的专利申请于2001年，此前被Veeco美国公司用于在美国起诉中微的基片托盘供应商专利侵权。

中微除了在美国对该涉案专利提起专利无效请求，还对其大陆同族专利和韩国同族专利均提交了专利无效请求。针对Veeco美国起诉中微供应商的另一个涉案美国专利(US 6,506,252)，中微正在准备无效宣告材料，将很快向美国专利审判和上诉委员会提起专利无效请求。

中微董事长兼CEO尹志尧表示，深信中微将会赢得对Veeco上海的专利诉讼，也深信最终会赢得在美国的专利诉讼。中微资深副总裁、COO兼MOCVD产品事业部总经理杜志游则说，非常高兴地看到法院作出这样的裁定。中微一贯严肃认真地保护知识产权，绝不容忍任何侵犯中微知识产权的行为。

长期观察并追踪此案的芯谋(IC WISE)首席分析师顾文军则分析指出，此次法院判处Veeco上海在大陆禁售EPIK 700 model MOCVD设备，是因为之前法院判处其侵犯中微的专利。但是厂家之间，官司打来打去互相伤害都不会受益，坐下来谈判才是正道。预料未来此案仍将有进一步发展。