全球领先的真空设备供应商英国BOC Edwards公司日前推出最新的Spectra-G除气系统，该系统拥有两套模型——SG800和SG3000。
Spectra-G是一套大型，基于燃烧除气的系统，具有优异表现性能、出色的成本优势并且提供了环保型的除气解决方案，主要为化合物半导体MOCVD工艺过程中氢气和氨气的去除而设计。
BOC Edwards产品营销总经理Mike Czerniak表示，Spectra-G除气系统为GaN MOCVD工艺中氢气与氨气的去除提供了创新的解决方案。数套系统已经销售至一家全球领先的LED制造厂商，另有一家亚洲制造商也购买了该系统。
Spectra-G除气系统适合于所有氮化物MOCVD应用中。
图为BOC Edwards公司SG800系统
