半导体国际的编辑经过仔细评选, 得出15种产品, 材料或服务为今年的最佳产品, 这是它们第21年的成果。
今年获最佳产品奖的产品如下;
- 上海AMEC的300mm Primo RIE干法刻蚀机
- 应用材料的SEMVision G4缺陷检查扫描电镜
- ASM新加坡的IIDEAL压缩型封装设备
- ATMI的离子注入自动清洗机
- ATMI的安全供气钢瓶
- Cabat Microelectronics的Epic D100 CMP的衬垫
- Carl Zeiss的SMT 超级SEM扫描电子显微镜
- CISemi的WetSpec 200湿法工作台
- Environmental Metrology的电化学痕量传感器
- Linde Group的F80现场氟发生器
- Nikon的NSR S610浸液式光刻机
- Nova Measuring Instrument公司的NovaMARS软件
- Qcept Technologies的Chemetri Q 3000非直视检查系统
- Tec Sem Group的Pr@ctor 300mm 单片管理系统
- W.L.Gore& Associates Gore 超纯水过沪器
