根据报道显示，SK海力士与ASML签订一份5年合约，海力士将斥资4．8万亿韩元购买ASML的EUV光刻机，约合人民币280亿元。不过SK海力士并没有透露具体购买数量，根据目前EUV光刻机的价格来看，大概购买数量为在30台以上。
当前半导体芯片工艺制程在逐渐精进，这就导致EUV光刻机的重要程度越来越高。目前内存厂商也加入了工艺升级队列中，可以减少重曝光工艺，提供工艺精度，有效提升生产质量和速度。SK海力士在文件中表示，这笔交易是为了实现下一代工艺芯片量产的目标。
同时，有统计数据显示，SK海力士成为全球第二大内存芯片厂商，有消息表示海力士将采用EUV光刻机生产第四代（1anm）DRAM产品。
