北方华创近日宣布，其自主研发的两款MOCVD外延设备——Satur N800和Satur V700成功通过行业龙头客户的验收，并获得批量重复订单。据北方华创2024年年度报告及2025年一季度财报显示，公司半导体设备收入持续强劲增长。
MOCVD设备是一种以金属有机化合物为原料，通过气相外延生长技术制备高质量薄膜材料的先进设备。其核心优势在于能够实现原子级别的精准操控，达到纳米级精度和量子级界面调控。设备配备了高真空环境和高精度温控系统，确保薄膜材料的高质量生长。
图源：北方华创
北方华创自2010年起布局外延装备研发，积累了十余年的技术经验。公司在硅薄膜外延设备领域实现了从4英寸到12英寸的全覆盖，产品涵盖8英寸及以下单片及多片大产能硅外延设备、12英寸硅外延设备，累计销售突破千腔，取得了多项技术创新成果。
基于硅外延设备领域的深厚积累，北方华创积极拓展化合物半导体外延设备研发，推出了GaN、GaAs、SiC等系列化产品，为宽禁带半导体产业提供关键国产化装备支持。其中，GaN MOCVD外延设备Satur N800专为8英寸硅基氮化镓功率器件设计，具备大面积均匀温度场、稳定气流场和多片式大产能优势，已在国内多家客户稳定运行并批量出货。
图源：北方华创，图为Satur系列MOCVD设备
GaAs MOCVD外延设备Satur V700突破关键技术，具备高均匀性、大产能和低成本特点，适用于Micro LED、射频及光电子领域，已批量出货并获客户重复订单。SiC外延设备MARS iCE115/120S工艺调试简单、维护便捷，迅速占领市场。其中，MARS iCE120S兼容6/8英寸SiC外延，具备C2C能力，为SiC产业过渡期提供了良好选择。
受益于新能源汽车和工业电源对SiC器件的强劲需求，北方华创的SiC外延设备市场份额进一步扩大，获得了多家头部SiC制造企业的订单及重复采购。公司产品，特别是MARS iCE120S在兼容6/8英寸SiC外延方面的优势，持续助力客户产能升级。
