凯世通国产离子注入机突破500万片大关
来源:赵辉 发布时间:2025-05-19
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5月16日,凯世通在上海浦东新区举办了一场庆典活动,庆祝其国产低能大束流离子注入机在12英寸晶圆产品片上的过货量突破500万片。
离子注入机作为芯片制造的三大核心装备之一,技术门槛极高,仅次于光刻机。其中,低能大束流离子注入机不仅市场规模最大,还面临极高的产业化难度。据公开资料显示,自2020年交付首台设备以来,凯世通始终坚持自主研发和原创设计,攻克了多项技术难题,实现了关键部件的国产化。公司不仅覆盖了28纳米工艺的全面应用,还成功支撑了国内10余家主流12英寸集成电路产线的安全量产,涉及先进逻辑、先进存储、CIS图像传感器以及功率芯片四大核心领域。
活动现场,客户代表向凯世通授予了“凯世通速度”书法作品,以表彰其在技术研发和量产方面的卓越表现。凯世通以“每月等效2个月”的研发效率,不断刷新低能大束流离子注入机在产线安全量产上的新高度,探索国产化应用的无人区。

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赵辉
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