混合键合技术将成AI芯片发展新趋势
来源:龙灵 发布时间:2025-05-12
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半导体行业正加速推进混合键合技术的革新,这一技术有望在人工智能(AI)等高效能元件领域实现广泛应用。据日刊工业新闻报道,混合键合技术主要分为晶圆对晶圆(Wafer-to-Wafer,W2W)和晶粒对晶圆(Die-to-Wafer,D2W)两种方式,其中W2W技术已在3D NAND闪存和CMOS影像传感器中实现成熟应用,而D2W技术则被视为下一步突破的关键。
横滨国立大学副教授井上史大指出,D2W技术目前仍面临整合不足的问题。尽管各厂商正在推进相关开发,但该技术尚未达到成熟阶段。业界正尝试将较为成熟的W2W技术应用于“重构式D2W”方案,这一方法被认为具有较高的可行性。若台积电等领先企业能在前段制程中完成全流程,将显著提升竞争优势。
设备制造商也在积极布局混合键合技术。例如,Disco公司针对D2W开发了多项切割技术,包括电浆切割、研磨前切割(DBG)和激光切割。尽管这些技术对洁净度的要求较高,但Disco表示,经过多年的技术积累,已具备实现高洁净度切割的能力。不过,不同切割方式各有优劣,关键在于为客户提供多样化选择。
此外,Tokyo Electron(TEL)已推出W2W专用键合设备,并正在开发D2W相关技术。奥地利的EV Group则与芯片贴合设备厂商合作,推出D2W专用设备,并于2020年成立异质整合技术中心。EV Group日本分公司社长山本宏表示,D2W技术能够提升设计与制造的灵活性,设备与材料制造商需提供多样化方案以满足市场需求。
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