阳明交大研发深紫外光超颖透镜
来源:李智衍 发布时间:2025-04-16
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据媒体报道,阳明交通大学电子研究所成功开发出一款深紫外光(Deep Ultraviolet, DUV)超颖透镜,这项技术在半导体和生医影像等领域具有广泛应用前景。由于深紫外光波长比UVA、UVB更短,其控制元件成本高昂,限制了实际应用。然而,这款新型超颖透镜的问世,为相关领域带来了突破性进展,并登上国际期刊《Nano Letters》封面。
这款超颖透镜厚度仅380纳米,远小于一根头发丝,但其光学操控能力却达到了深紫外光聚焦的极限。其核心创新在于首次采用氮化铝材料,这种材料在积体电路中广泛使用,具备耐高温、散热性能优异、化学稳定性高以及不吸收深紫外光的特性。实验表明,这款透镜不仅可用于深紫外光影像拍摄,还能完成深紫外光超快雷射雕刻,这两项成果均为国际首次实现。
阳明交大电子研究所助理教授曾铭纶表示,深紫外光技术在基础科学研究和工业应用中具有重要价值,但相关设备的高昂成本一直是推广的障碍。例如,用于精密深紫外雷射加工的镜头造价高达百万新台币。超颖透镜通过数以万计精心设计的半导体奈米天线,调控几何参数以精确操控光的产生与聚焦,为降低成本提供了新思路。
超颖透镜是一种基于奈米结构的光学元件,具备传统透镜的功能,同时展现更丰富的特性。近年来,该技术已被广泛应用于全彩影像技术、量子光学和生医检测等高精度领域。有传言称,苹果可能在新一代手机中引入这种全新的半导体光学技术。
研究团队表示,未来将借助超颖透镜轻薄短小、功能多样且开发自由度高的特点,推动其在矽光子元件加工、生医影像检测以及半导体检测等领域的关键应用。同时,团队也看好由半导体奈米结构组成的超颖介面在未来量产与商业化方面的潜力。
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