据报道，半导体检测大厂闳康（3587）于1日宣布，在竹科矽导实验室正式启用全球顶级的超埃米解析球差校正穿透式电子显微镜（Cs Corrector TEM）。这一设备的引入旨在协助晶圆代工大厂加速2纳米及以下制程的开发与验证。

该显微镜适用于GAAFET、FinFET等先进晶体管结构分析，可为Foundry、IDM、高阶封装与IC设计企业提供全面的材料分析（MA）及失效分析（FA）服务。据闳康董事长谢咏芬透露，该设备总投资超过500万美元，高度达3.3米，造价为传统电子显微镜的三倍以上，具备超埃米级成像解析能力，能够精准观测1纳米以下的哑铃型对称影像，呈现原子级电子轨域细节。

此外，为应对AI芯片日益增长的功耗与可靠性验证需求，闳康正扩大测试设备投资。公司计划在今年第一季度完成2台Incal/Sonoma机台及2台MCC/HPB6机台的安装。这些设备具备单芯片800瓦至1500瓦的功率测试能力，技术领先全球实验室，已吸引欧美多家智驾车与AI芯片大厂展开验证合作，预计从第四季度起为公司带来营收增长。