庆建廷科技加速推进半导体前驱体材料国产化进程
来源:赵辉 发布时间:2025-03-27
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据报道,启元半导体凭借其在高端电子气体材料领域的技术积累和行业资源,孵化出上海庆建廷科技有限公司(简称“庆建廷科技”)。该公司专注于前驱体材料及相关设备的研发与生产,致力于为国内芯片制造企业提供一体化解决方案。
庆建廷科技整合了启元半导体在半导体领域的资源,依托高校科研实力,通过校企合作、研产联动的方式,同时借鉴国际合作方的研发与量产经验,结合自身团队的技术创新能力,打造出“前驱体材料+供应传输系统+薄膜沉积设备”的整体解决方案。
在SEMICON 2025期间,庆建廷科技迎来重要进展——其先进材料研发中试中心正式揭牌。该中心位于上海化学工业区,是庆建廷科技加速前驱体材料研发和国产化的关键基地,也是其突破实验室到中试线“死亡之谷”的重要平台。
庆建廷科技总经理何俊博士表示,研发中试中心将专注于为先进制程的ALD/CVD工艺提供高品质的Low K、High K及Metal类前驱体材料。此外,中心还具备包装物清洗能力,以确保产品在使用过程中的稳定性和可靠性,满足客户对质量的严格要求。
同期,庆建廷科技还展示了半导体化学品供应传输系统及薄膜沉积工艺ALD设备等先进设备。
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