3月25日，据上海嘉定消息，盛剑科技国产半导体制程附属设备及关键零部件项目（一期）正式投入生产。

图源：上海嘉定

该项目位于嘉定工业区，占地约27728.6平方米，总投资约6亿元。盛剑科技此前与嘉定工业区管委会签订投资协议，旨在深化半导体产业链布局。项目致力于打造一个集研发、制造、销售及维保服务于一体的国产先进半导体附属设备及关键零部件平台。

该项目主要生产用于半导体制造的工艺废气处理设备、真空设备和温控设备等。这些设备在半导体制程中起到重要作用，能够辅助控制反应腔环境，满足刻蚀、离子注入、扩散及薄膜沉积等工艺的技术要求。

上海盛剑科技股份有限公司副总经理聂磊表示，该项目是公司在半导体产业链上的延伸布局，有助于提升国产设备及零部件的生产能力、运维能力以及产业竞争力。目前，盛剑科技在真空、温控及新型废气处理等关键技术领域实现了多项突破，未来将有更多迭代产品在新工厂投产下线。