据国际半导体产业协会（SEMI）数据显示，2024年全球离子注入设备市场规模已达276亿元，预计到2030年将增长至307亿元，年复合增长率为2.1%。其中，中国国内市场空间约160亿元，展现出巨大的国产替代潜力。

3月26日，在SEMICON China 2025展会上，北方华创正式宣布进军离子注入设备市场，并推出首款国产离子注入机Sirius MC 313。这一战略举措标志着北方华创在半导体核心装备领域完成关键布局，为国产高端半导体设备的突破注入新动力。

离子注入设备是芯片制造中的重要环节，虽然其关注度不如光刻机，但在半导体制造中却不可或缺。该设备通过将特定元素的带电离子以精确控制的能量注入半导体材料，实现对材料电学性能的精准调控。其技术流程包括离子源生成、电场加速以及精确注入等关键步骤，工艺复杂且技术壁垒较高。

北方华创此次推出的Sirius MC 313，不仅填补了国内高端离子注入设备的空白，还有望打破国际巨头长期以来的市场垄断。随着该设备的量产，北方华创将成为全球少数具备离子注入设备生产能力的供应商之一，为中国半导体产业链的自主可控提供重要支持。

行业专家认为，此次布局将显著提升中国在关键设备领域的自主创新能力，为下游芯片制造企业提供更多选择，推动中国半导体产业向高端化发展。