新凯来或已开发28纳米芯片制造设备,华为合作成焦点
来源:林慧宇 发布时间:2025-03-25
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据日经亚洲援引消息人士透露,中国业者新凯来近年来持续投入半导体制造设备的研发工作,并以ASML、应用材料、科林研发等欧美大厂的产品为标杆。据悉,新凯来与华为保持密切合作,配合其需求开发用于多种制程步骤的设备。
消息人士指出,新凯来在多个研发项目中投入了大量人力,部分项目参与人数达到上百人,甚至上千人。其研发领域涵盖微影、化学与物理气相沉积、原子层沉积、蚀刻以及测量等关键设备。值得注意的是,新凯来甚至宣称已经开发出可用于28纳米芯片制造的关键微影制程设备,但目前尚无法确认其量产能力。
新凯来成立于2021年,由深圳市重大产业投资集团全资控股,后者隶属于深圳市政府。该集团还支持了鹏芯微、升维旭等与华为联系紧密的芯片制造企业。
日前,新凯来在微信平台发文称,将在SEMICON China活动中发布多款新设备。其中包括3月26日亮相的「峨眉山」磊晶制程设备和「武夷山」蚀刻设备,以及27日发布的「长白山」化学气相沉积设备、「普陀山」物理气相沉积设备和「阿里山」原子层沉积设备。
截至目前,新凯来与华为均未对相关传闻作出回应。
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