新凯来将在SEMICON China展出多款半导体设备,含原子层沉积技术
来源:龙灵 发布时间:2025-03-24
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据彭博社2024年3月报道,半导体制造设备企业新凯来计划在3月26日至28日的上海SEMICON China展会上推出多款新产品,包括名为“阿里山”的原子层沉积设备。这是该公司自2021年成立以来首次大规模对外展示其技术与产品。
新凯来的官方微信文章透露,展会首日将发布“峨眉山”磊晶制程设备和“武夷山”蚀刻设备,次日则会推出“长白山”化学气相沉积设备、“普陀山”物理气相沉积设备以及“阿里山”原子层沉积设备。目前,其官网“半导体制造”页面仅列出4款用于绝缘栅双极型晶体管(IGBT)的低端设备,而“新闻信息”页面则暂无内容更新。
据南华早报报道,华为2023年发布的Mate 60 Pro智能手机搭载了7纳米芯片,这一技术突破引发了广泛关注。尽管官方未明确承认,但外界普遍认为新凯来可能在相关技术的研发中发挥了重要作用。此外,新凯来在2023年底获得了一项专利,使用深紫外光(DUV)微影技术和自动对齐四重曝光技术,试图在不依赖极紫外光(EUV)设备的情况下突破5纳米芯片制造的技术瓶颈,同时降低生产成本。

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