浙江大学研发出90纳米钙钛矿LED,创最小尺寸纪录
来源:林慧宇 发布时间:2025-03-21
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据报道,浙江大学研究团队成功研发出微米和纳米级钙钛矿LED,像素尺寸最小达到了90纳米,这是传统LED难以实现的极限。相关研究成果于昨日发表在《自然》期刊上,题为“Downscaling micro- and nano-perovskite LEDs”。
钙钛矿LED是一种新型光源,广泛应用于显示、照明和通讯领域,具有色彩纯度高、色域宽的优势。研究团队在三五族半导体Micro LED微型化研究的启发下,开始探索更小尺寸的钙钛矿LED。2021年,团队首次提出“微型钙钛矿LED(micro-PeLED)”概念,并取得国家与国际专利。

研究过程中,团队发现传统光刻工艺会破坏钙钛矿材料,因此设计了一种局域接触工艺。该工艺通过在附加绝缘层中引入光刻制作的图案化窗口,确保像素区域远离电极边缘,从而避免非辐射能量损耗,提高发光效率。最终,团队成功制造出像素尺寸从数百微米到90纳米的钙钛矿LED。

图:Micro / nano-PeLED 与其他 LED 技术的比较
数据显示,绿色和近红外钙钛矿LED在像素尺寸为数百微米到3.5微米时,外量子效率保持在20%左右。相比基于III-V族半导体的Micro LED,钙钛矿LED在180纳米时才开始显现降尺度效应,而传统Micro LED在尺寸低于10微米时效率已显著下降。
团队还与杭州领挚科技合作开发了由TFT背板驱动的有源矩阵micro-PeLED微显示器原型,能够呈现复杂图像和视频。该显示器的分辨率高达127000 PPI,创下所有类型LED阵列的最高分辨率纪录。

图:有源矩阵micro-PeLED微显示器呈现的图像
研究团队表示,这一成果为未来显示技术的发展提供了重要支持,目前正积极推动技术的实际应用。
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