3 月 10 日晚间，芯源微发布公告透露，北方华创计划获取公司控制权，并且公司股票将于 3 月 11 日开盘时恢复交易。

从股权变动来看，芯源微持股超过 5% 的股东沈阳先进制造技术产业有限公司，在 3 月 10 日与北方华创签订了《股份转让协议》。按照协议，先进制造打算把手中持有的约 1906.49 万股芯源微股份，以每股 88.48 元的价格转让给北方华创，这部分股份占芯源微总股本的 9.49%。

同一天，芯源微另一位持股 5% 以上的股东沈阳中科天盛自动化技术有限公司，也准备通过公开征集转让的方式，协议转让其持有的全部 1689.975 万股股份，占总股本的 8.41%。北方华创也表明，会积极参与公开挂牌竞买等活动，进一步增持股份，以实现对芯源微的控制。

与此同时，芯源微内部人员也有变动。公司董事会收到了董事、副总裁兼核心技术人员陈兴隆的辞职报告。陈兴隆因个人原因提出辞职，离职后将不再在公司担任任何职位。