三星将引入TEL极低温蚀刻设备,速度可提升3倍
来源:林慧宇 发布时间:2025-03-03
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据韩媒报道,三星电子计划在2025年完成最新一代3D NAND V10的量产准备,并首次引入东京威力科创(TEL)的极低温蚀刻设备。
此前,三星在V8和V9的先进极低温蚀刻制程中仅使用美国科林研发的设备。
极低温蚀刻是在零下30度至零下60~70度的环境下进行,相比传统蚀刻更加精准,速度也可提升至原本的3倍。随着TEL进入三星供应链,科林研发的独占地位将受影响。
自2024年起,三星已在平泽第三工厂的NAND产线导入TEL的极低温蚀刻设备进行V10与V11的量产测试。此举旨在降低对科林研发的依赖,降低成本并稳定先进制程设备供应链。
对于存储器业者而言,过度依赖特定设备供应商存在负担与风险。TEL若能提供所需技术,将有助于三星降低成本并稳定设备供应链。
三星在NAND市场竞争激烈,此次策略调整显示出其不想让出主导权的决心。
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