泛林集团推出全球首款金属钼沉积工具
来源:林慧宇 发布时间:2025-02-23
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泛林集团近日发布了其最新创新——ALTUS Halo,这一工具将钼金属化技术引入半导体生产,成为全球首款基于金属钼进行尖端半导体制造的工具。这一技术的推出,标志着半导体金属化领域的新纪元,尤其在支持下一代芯片和人工智能、云计算应用的过程中具有革命性意义。
ALTUS Halo作为ALTUS系列的最新成员,已开始与全球顶级芯片制造商进行认证和测试。这一工具通过创新的原子层沉积技术,实现了超高精度的低电阻率钼沉积,并且在先进存储器和逻辑芯片的制造中,将成为核心技术。随着对更高性能半导体的需求日益增加,ALTUS Halo将为未来的高端NAND、DRAM和逻辑器件提供强大支持。
相比传统的钨基金属化技术,钼在半导体制造中的应用具有显著优势。钼不仅电阻率较低,有助于提高芯片速度,还能简化工艺,减少电气相互作用带来的风险,解决了在复杂3D架构下信号传输中可能出现的瓶颈问题。因此,ALTUS Halo的推出对于半导体行业来说是一个重要的技术突破,尤其在大规模生产应用中具有巨大的潜力。
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