宜特科技突破A14制程,开启材料分析新篇章
来源:陈超月 发布时间:1 天前 分享至微信
宜特科技(iST)宣布正式成为具备原子探针断层扫描仪(APT)试片制备能力的第三方实验室,为半导体材料分析提供全新解决方案.
这一突破性技术尤其适用于A14制程(14埃)等超先进制程,解决了异质材料整合与立体化元件结构中的分析难题。
APT技术不受光学绕射极限限制,能在次纳米级分辨率下精确还原样品的3D原子结构,并提供10 ppm等级的成分分析能力,成为半导体研发与良率控制的利器。
宜特通过与中国台湾大学技术转移合作,开发出高效的试片制备技术,可应用于多种半导体元件及材料。
APT分析需要高度精密的试片制备,样品需加工成尖端曲率半径小于100 nm的针尖型,以保证精准的场蒸发效果。宜特科技的这一技术突破,标志着材料分析服务迈入全新里程碑,为全球领先半导体企业的前瞻性研究提供重要工具。
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