近日，华海清科发布公告，宣布拟使用自有资金不超过10.05亿元，收购其参股子公司芯嵛半导体（上海）有限公司（以下简称“芯嵛公司”）剩余的82%股权。此举意味着，芯嵛公司将成为华海清科的全资子公司，为公司进一步拓展集成电路离子注入机市场奠定坚实基础。

据了解，本次交易的股权转让方涉及多家企业和个人，包括上海凯城半导体科技合伙企业、上海科技创业投资（集团）有限公司等知名投资机构。交易价格基于具有证券期货相关业务资格的评估机构出具的股权评估报告，芯嵛公司100%股权的整体估值为12.25亿元，增值率高达1541.43%。华海清科以10.05亿元的价格收购剩余的82%股权，无疑是一次大手笔的投入。

芯嵛公司专注于集成电路离子注入机的研发、生产和销售，其核心技术团队拥有30多年的行业经验，积累了丰富的产品设计及工艺性能的核心参数。目前，芯嵛公司已实现低能大束流离子注入设备的商业化，相关产品已发往客户端进行验证。相较于同类竞品，芯嵛公司的产品在晶圆颗粒污染控制效果、晶圆的装载效率等方面具有明显优势，且设备零部件的国产化率更高。

芯嵛公司目前尚处于亏损状态，并预计未来短期内仍将持续亏损。对此，华海清科表示，本次收购完成后，公司将加大此类业务的研发投入，以实现离子注入设备的持续迭代升级和新产品开发。