国内首条8英寸SiC中试线在深圳正式通线
来源:ictimes 发布时间:3 天前 分享至微信

近日,深圳平湖实验室宣布,国家第三代半导体技术创新中心深圳综合平台已举办通线仪式,标志着国内首个集科研和中试于一体的8英寸先进功率半导体开放共享平台正式通线。这一平台覆盖第三代功率半导体衬底、外延、器件制备、封装测试、失效分析、可靠性验证全链条,建成先进的8英寸工艺平台,具备向下兼容能力。


在通线仪式后,深圳综合平台与17家企业签署合作框架协议,将在第三代半导体领域全面开展前沿探索、应用基础研究、重大技术攻关、产业应用示范等工作,形成战略合力。


平湖实验室已布局1200-6500V SiC MOSFET及15-1200V GaN HEMT产品及工艺平台,积极构建从材料制备、芯片设计、晶圆制造到封装测试的完整产业链,为我国第三代半导体产业链的完善和升级提供重要助力。


未来,深圳综合平台将致力于在重点关键核心技术领域实现突破,加速科技成果的产业转化进程,努力成为世界领先的第三代及第四代功率半导体创新、中试及共享的平台。

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