Imec研发双列CFET架构,助力7埃制程节点
来源:ictimes 发布时间:2024-12-13 分享至微信
Imec近期发布了一套设计技术协同优化(DTCO)解决方案,采用双列互补式场效晶体管(CFET)架构,通过共享信号布线墙大幅减少逻辑和SRAM单元面积。
相较于传统单列CFET,双列架构能将标准单元高度从4T降至3.5T,为7埃(A7)逻辑节点提供制造性和面积效率的最佳平衡。
CFET架构通过N型和P型FET的堆叠,结合背面技术,有望提升功率、效能和面积(PPA),预计将在A7节点制程中取代GAA-FET。然而,整合CFET至标准单元并提升效能,还需解决中段制程连线等挑战。
Imec的新架构中,CFET一面优化电源连接,另一面设置中间布线墙(MRW)优化信号连接,形成双列CFET标准单元,大幅节省面积。
与GAA A14节点技术相比,双列A7 CFET可缩减40%以上面积。Imec的DTCO研究旨在确保研究流程符合产业制程步骤,为未来CFET晶圆厂制程能力做准备。
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