三星削减3D NAND生产中光刻胶用量
来源:ictimes 发布时间:2024-12-03 分享至微信
三星电子在其最新的3D NAND光刻工艺中大幅减少光刻胶(PR)使用量,减少了一半,这一举措大幅降低了生产成本,但也给供应链带来了显著影响,尤其是对韩国供应商东进半导体的收入前景构成了挑战。
三星的这次优化主要通过两项技术改进实现:首先,通过调整涂布过程中的转速参数,显著减少了每层涂覆所需的PR用量,同时确保涂层质量不受影响。其次,改良后的蚀刻工艺在降低材料消耗的同时,生产出的效果甚至更优。凭借这些改进,三星在降低3D NAND堆叠层数带来的高昂生产成本方面迈出了重要一步。
值得注意的是,三星在最新第7代和第8代3D NAND中引入了高粘度KrF PR,这种材料虽然提升了堆叠效率,但也对涂层均匀性提出了更高的技术要求。光刻胶的研发和生产门槛极高,这使得行业竞争格局更趋向于少数领先者掌控。
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