明远精密作为真空技术设备领域的佼佼者，专注于半导体臭氧供气系统、线上电浆源、射频电源系统及技术维修服务。其射频电源系统助力客户减碳高达68.7%，已出货逾200套，成为众多晶圆代工大厂的制程标准配置。

明远的产品在半导体制程中发挥着关键作用。射频电源系统用于CVD制程，确保高质量薄膜的形成；臭氧供气系统则提升ALD制程中薄膜的均匀性和致密性；线上电浆源则有效清洁腔体，延长设备寿命。

随着半导体制程向更先进节点发展，明远的产品能够满足更高标准的薄膜品质、均匀性和精确控制要求。

明远在半导体臭氧技术领域具备自主开发能力，是台湾唯一具备12寸半导体臭氧供气设备维修技术的业者。同时，其线上电浆源技术也通过多项专利认证，兼具品牌、ODM和OEM制造与维修能力。

为应对2050年净零碳排目标，明远的主力产品射频电源系统备受企业青睐。2024年前三季度，公司营收达5.74亿元新台币，税后净利7637.8万元。

随着半导体产业与先进制程的需求持续上扬，明远对于2025年及后续的营运动能相当乐观。