11月4日，睿励科学仪器宣布成功完成近5亿元的战略融资，此次融资由金石投资与招商致远联合领投。资金将用于提升公司在半导体制程中的光学量检测设备国产化替代能力，扩大产品种类并加大市场拓展力度。

成立于2005年的睿励科学仪器，致力于自主研发和生产具有核心技术的光学量检测设备，服务于集成电路芯片制造领域。作为国内首批进入半导体前道工艺的国产设备公司，睿励凭借其高精度的薄膜测量、尺寸光学检测设备，已经成功打入三星与长江存储的生产线，并在缺陷检测领域持续创新。

尤其值得关注的是，睿励的WSD系列国产缺陷检测设备，已在集成电路及多种半导体工艺中投入使用，并具备量产能力。该设备最高检测精度可达100nm，兼容4~12英寸晶圆，展现出强大的市场竞争力。

此外，睿励与中微公司深度合作，后者在2023年以5790.21万元收购了其6.76%的股份，进一步促进了两家公司在半导体领域的协同发展。这笔战略投资不仅为睿励提供了资金支持，也加强了产业链的整合，为未来的创新与发展奠定了基础。