日企推出GeO2新材料,瞄准超宽能隙半导体市场
来源:ictimes 发布时间:2024-07-08
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近日,日本创新企业Patentix宣布成功研发出二氧化锗(GeO2)这一新型超宽能隙(UWBG)材料,旨在推动功率半导体的商业化进程。随着SiC、GaN等宽能隙材料普及,半导体行业正向UWBG材料如钻石、Ga2O3等迈进。
Patentix的GeO2材料以其4.6eV的宽能隙脱颖而出,高于传统WBG材料,适用于高电压大电流环境。虽略逊于Ga2O3和钻石,但GeO2能灵活制成p型或n型半导体,克服了钻石和Ga2O3的局限。公司已在钻石基板上成功制出Ga2O3,并早于今年初完成了GeO2肖特基二极管(SBD),预示着其商业化前景。
Patentix与Qualtec合作,于2024年5月设立了GeO2功率半导体研发基地,专注于提升GeO2在矽基板及TiO2基板上的成膜质量,以制造高品质功率半导体。其独家PhantomSVD技术确保结晶品质优于传统化学气相沉积法(CVD)。
公司计划通过琵琶湖半导体构想论坛,联合日清纺微电子、Toray Research Center、爱信等企业,加速GeO2材料的产业化进程,并建立日本UWBG材料技术专利体系,目标直指更大晶圆尺寸的GeO2及钻石、Ga2O3功率半导体产品。
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