双元科技成功研发SiC检测系统
来源:ictimes 发布时间:2024-05-27 分享至微信
近日,浙江双元科技股份有限公司(双元科技)宣布其在半导体检测技术研发方面取得重大突破,成功开发了全自动晶圆AOI量检测系统和晶圆在线光谱量测系统的样机。这一里程碑事件标志着双元科技在半导体量检测领域迈出了坚实的一步。
截至2024年4月底,双元科技的晶圆AOI位错检测系统已通过厂商验证,并获得首批订单。该系统利用明场反射原理和高倍率光学显微镜成像技术,能够对SiC晶圆上的位错缺陷进行高速、精准、非接触式的无损光学检测。结合AI识别算法,该设备可以准确识别和分类TSD、TED、BPD等瑕疵,展示了卓越的技术性能。
这一系列技术创新不仅提升了公司的市场竞争力,也为半导体行业提供了新的检测解决方案。双元科技的持续研发投入和技术突破,不仅彰显了其在行业中的领导地位,还为半导体检测技术的发展注入了新的活力。
双元科技的进步和创新无疑将对半导体行业产生深远影响。这不仅展示了公司强大的研发能力,也为行业标准的提升和技术进步提供了有力支持。
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