中国芯扩张迅速,国产首台28nm浸润式光刻机有望年底交付!
来源:IC- Lily 发布时间:2023-08-03 分享至微信

尽管美国祭出芯片出口禁令,中国仍持续扩大成熟制程芯片的生产。报导称,上海微电子预计在2023年底能将交付首台国产28奈米浸润式光刻机,也突显出中国芯片产业正迅速扩张。


在近2年来,中国国产光刻机持续在发展,不过相关进展却有所保密,官宣消息很少。但如今,官方证实了光刻机进展的消息,也意味着中国在光刻机的研制方面出现了实质性的突破。上海微电子有望藉此制程工艺技术也直接感超日本佳能、尼康厂商,成为继荷兰ASML后,全球第二个先进光刻机巨头。


值得注意的是,华为也在光刻机技术上也在积极投入,并取得了成果,象是在去年底就披露了名为「反射镜、光刻装置及其控制方法」的专利,涉及到EUV光刻关键技术。


事实上,中国在光刻机技术在世界市领先的一方,该国在1965年研制出了65型接触式光刻机,1985年研制出的分步光刻机样机,当时与国外先进水平差距不超过7年,但此后,为了以最快速度赶上世界先进芯片制造水平,中国开始自国外购买光刻机。


上海微电子副董事长贺荣明带领的上海微电子,可以说是中国企业在光刻机走向自主的努力的一个缩影。近年来,在光刻机全球产业链中,涌现了多家中国制造商,包括光刻机光源系统厂商福晶科技、涂胶显影厂商富创精密、光刻胶厂商南大光电、光刻气体厂商华特气体等。


其中,富创精密也是全球为数不多的能够量产应用于7奈米工艺制程半导体设备的精密零组件制造商。针对国产化议题,富创精密也曾表示,公司将在既有产品基础上逐步实现半导体设备精密零组件的国产化。


来源:钜亨网

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