又一SiC厂商将量产,绝招是低温工艺!
来源:第三代半导体风向 发布时间:2023-01-31
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资料显示,Arche成立于2013年10月,是一家半导体和显示器公司。据悉,Arche的碳化硅外延技术很有特色。
它们正在开发使用ELS(Extreme Low Temperature SiC)工艺生产碳化硅外延晶圆,这种低温工艺有2个好处,一是可以大幅降低成本,二是解决现有高温SiC制造工艺中的难题题。2022年,Arche凭借SiC外延技术成功吸引了100亿韩元(约5500万人民币)的投资。
目前,该公司拥有德国AIXTRON生产的G4沉积设备,并新引入G5沉积设备,计划在 3 月份完成产线建设。在扩大设备并稳定产量后,计划从今年第四季度开始正式开始量产SiC外延片。
Arche表示,他们正准备生产用于电动汽车的650V和1200VSiC 外延片,未来还将开发3000V、6000V及12000V级用于航空航天、国防领域的碳化硅材料。
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据《2022碳化硅(SiC)产业调研白皮书》,韩国近几年的SiC 产业布局速度也在加快,从衬底、外延、器件到模组的SiC 全产业链条正在逐渐完善,各个环节产线都正在建设当中。
韩国碳化硅产业主要的厂商包括现代Autron、SK Siltron、Senic、Trinno等。因篇幅限制,了解全球其他地区的碳化硅主要厂商情况,请获取完整的《2022碳化硅(SiC)产业调研白皮书》了解↓↓↓:
韩国碳化硅供应链 来源:《2022碳化硅(SiC)产业调研白皮书》
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