ASML恐难再高傲,25年后,美日突然联合宣布,美院士的话应验了?
来源:百家号 发布时间:2022-05-03
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ASML是一家光刻机供应商,目前支持7纳米以下工艺的EUV光刻机,就是来自ASML,事实上,ASML的崛起,与EUV光刻机有着直接的关系。
由于目前只有ASML一家可以制造EUV光刻机,所以ASML一度对自己在该领域的技术深感自豪,甚至有一些高傲。
因为之前ASML方面就对外表示,即使公开EUV光刻机的图纸别人也造不出来。

由于近几年一直是ASML独家供应EUV光刻机,所以这让ASML收获颇丰,根据其财报数据来看,其光刻机销售收入中,EUV光刻机的营收占比已经接近一半。
但是如果大家了解ASML在EUV光刻机上的发展史,就会知道,ASML只不过是一个“幸运儿”。
在1997年,美国成立了EUV LLC联盟,该联盟汇聚了美国三大国家实验室、数百位顶尖科学家和AMD、英特尔、IBM等多家美国科技巨头。
而ASML被同意加入,尼康则被拒绝。

事实上,在EUV光刻机最重要的光源上,其提供商就是一家美国公司,也就是cymer,所以EUV光刻机的主要技术,其实来自美国,而并非是ASML。
但现在事情出现了新情况,根据外媒报道,在EUV LLC联盟成立的25年后,美日之间突然联合宣布,将会在尖端半导体制造设备上展开合作。
熟悉半导体制造设备的朋友应该知道,美国在光刻机之外的其他设备领域,几乎全部涉及,美国的应用材料、拉姆研究都是该领域的市场巨头。

而日本则是仅次于荷兰的光刻机制造国,尼康和佳能曾经也是全球的光刻机巨头,尼康甚至是全球第一。
想必大家还记得,前段时间,佳能就宣布将在2023年量产3D光刻机,实际上,尼康和佳能都在探索另一条不需要EUV的光刻机道路。
除了佳能的3D光刻机,佳能早在5年前就开始研发NIL技术,该技术同样可以用于制造先进工艺芯片,但是成本只有EUV的40%。

此外,尼康之前也宣布,将会在2023年量产NSR-S636E光刻机,该光刻机不采用EUV技术,但同样可以支持5纳米工艺。
所以我们看到,这次美日联合宣布在尖端半导体制造设备上的合作,无疑将会提升尼康和佳能在光刻机上的实力。
重要的关键点在于,这对EUV光刻机将会造成现实的市场威胁,ASML将不再是独家供应,而且ASML还将失去成本优势。

要知道,ASML的下一代EUV光刻机,已经将售价翻倍,提升到3亿美元一台,而上文中我们也提到,佳能的技术可以只需要ASML成本的40%。
也就是说,购买两台ASML的EUV光刻机的价钱,就可以购买5台佳能的先进光刻机。
之前就有美院士表示,ASML的时代正在过去,难道美院士的话说对了?
那么美院士的话是否会应验呢?

现在来看,可能性很大,因为日本方面还有另外的优势,那就是半导体材料。
相信有的朋友还记得,之前日本方面还对韩国进行过制裁,制裁的方法就是停止供应半导体材料,包括高纯度氟化氢、氟聚酰亚胺以及光刻胶。
此外,在光刻机另一个重要部件透镜上,尼康和佳能也都拥有不俗的实力,其产品全部为自己研发。

而ASML则是需要依靠德国的蔡司,细数ASML的发展历程,其多次关键发展都离不开蔡司的身影,27年前,ASML总裁就表示:蔡司成了ASML发展的瓶颈。
在EUV光刻机上,现在依然如此,之前ASML方面就表示,下一代EUV光刻机的发展需要大数值孔径的镜头。
显然,ASML的发展瓶颈再次落到了蔡司身上。
因此综合对比来看,如果尼康和佳能像25年前的ASML一样,得到了美国的技术支持,那么ASML恐难再高傲了,而ASML或许已经成为“弃子”。

那么为什么会这样呢?或许是ASML缺乏创新。
是的,虽然ASML制造了全球唯一的EUV光刻机,但是该技术的贡献者却是美国。
事实上,EUV光刻机也并非是一个创新的产品,其沿用的依然是传统光刻机的路线,即通过更短波长的光源和更大数值孔径的镜头,来不断提升光刻机的分辨率。

EUV光刻机之所以被关注,只是因为EUV光刻机的相关配件制造难度较大,当然,我们也承认ASML的光刻机制造能力,但是仅限于整合能力,而并非是创新能力。
但是尼康和佳能则不然,上文中已经有所介绍,像NIL光刻机,已经被誉为第三代光刻机技术。
第一代为接触/接近式光刻机,第二代为步进扫描投影式光刻机,ASML的EUV光刻机就是该类型。

所以综合来看,或许美院士的话在理,ASML虽然引领了一个时代,但是属于ASML的时代正在过去,这或许就是缺乏创新的结果。
对此大家怎么看呢?欢迎评论区一起讨论发言。
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