文/BU 审核/子扬 校正/知秋

光刻机是中国芯片产业上的一根刺，令国人为之忧虑。但光刻机并非我国芯片产业面临的唯一难题，在与之同样重要的半导体清洗设备领域，我国也同样受制于人。

清洗设备的重要性

清洗设备负责将芯片制造环节中的产生的杂质洗去，在芯片制造工序步骤中，有将近1/3步骤需要经过清洗环节。由此可见，清洗设备的使用频率相当高，其与芯片良品率直接相关，是芯片制造环节所需的关键设备。

而且，随着芯片制程的不断缩小，工艺流程愈发复杂，晶圆对杂质含量也越发敏感，但小尺寸中的污染物的清理却越来越难。因此，未来半导体清洗设备的重要性也将愈来愈高。

这一点，从半导体清洗设备快速增长的市场规模中便能够看出。据MIR DATABANK公布的数据显示，2020年我国半导体清洗设备的市场规模为74.56亿美元；而在2016年时，这一数字还不过26.47亿美元。

竞争格局已定

目前，全球半导体清洗设备的格局已经确定，已经形成了颇高的市场集中度。据Gartner公布的数据显示，日本迪恩士、东京电子、韩国SEMES与美国拉姆研究这四家巨头，在2020年全球半导体清洗设备市场上呈现出寡头垄断的态势，占据了将近97.7%的市场。

而我国在这一领域，因为起步较晚，所以很长时间里都受制于人。由此，半导体清洗设备成为国产芯片的又一大痛点。

当然，在国产清洗设备的背后并非没有希望，在国产替代的大潮流下，清洗设备已经成为我国自主化程度最高的半导体设备之一。

北方华创、屹唐半导体、芯源微等中国企业，都在半导体清洗设备领域布局。

其中，盛美上海更是成为了清洗设备国产化率的主要贡献者，已经抢回了超20%的市场。从中国国际招标网公布的历年数据显示，在中国25%的半导体清洗设备国产化率中，盛美上海便撑起了23%。

国产替代领头羊

毫无疑问，盛美上海已经成为了国产半导体清洗设备替代的领头羊，在全球市场上也已经跻身一线行列。

成立于2005年的盛美上海，用十余年的时间不断打磨自身技术，如今已经形成了相当的竞争实力。

据了解，盛美上海已获授权的专利数量达298项，公司多项核心技术走到了国际领先的行列。目前，盛美上海的半导体清洗设备适用于45nm及以下芯片流程，受到了SK海力士、长江存储、中芯国际等国内外巨头的青睐。

为了从已有的市场格局中脱颖而出，盛美上海选择走差异化路线，希望能在技术路线上“弯道超车”。

为此，盛美上海自研SAPS、TEBO兆声波清洗技术、Tahoe单片槽式组合清洗技术，通过这些全球首创的新技术，公司的确在一众巨头之中有了自己的一席之地。盛美上海的成功，为国产替代推进了一大步。

从盛美上海的业绩来看，目前公司经营状况良好，并且业绩增长迅速。到2020年时，盛美上海已经实现营收10.7亿元、归母净利润1.97亿元。良好的盈利，无疑有利于盛美上海稳步发展，从而更好地打破垄断。

在今年11月份，盛美上海更是成功登陆科创板，获得更多的资金力量以支持公司进一步突围，其未来发展令人期待。

国产替代正当时

清洗设备是半导体领域的一块“敲门砖”，若我国能够成功攻克这一难点，便能切入更多的产业链环节，从而撬动已有的芯片市场格局。毕竟，清洗设备是芯片制造环节中最频繁的参与者。

而在当前，正是国产半导体清洗设备替代的好时候。

一方面，中国集成电路产业规模迅速扩张，庞大的市场吸引了众多资本的涌入，从而刺激了中国企业的发展。譬如，国家大基金二期便对清洗设备企业保持了高强度支持。

另一方面，近两年来全球贸易摩擦的频发，也让中国企业更具危机感，从而将更多的目光投向本国企业。在招标中，中国企业的中标份额已有明显的提升。

此外，国产政策的大力支持，也让相关企业看到了希望与未来前景。因此在多方的推动之下，国产清洗设备的替代潮流加快。

在这大好的机会下，盛美上海等国产半导体企业正在快速发展，正逐渐打破被外资垄断的市场格局。希望国产半导体能早日实现突围。