自1976年开发出功率MOSFET以来, 由于半导体工艺技术的发展, 它的性能不断提高:如高压功率MOSFET其工作电压可达1000V;低导通电阻MOSFET其阻值仅lOmΩ;工作频率范围从直流到达数兆赫;保护措施越来越完善;并开发出各种贴片式功率MOSFET(如Siliconix最近开发的厚度为1.5mm“Little Foot系列)。另外, 价格也不断降低, 使应用越来越广泛, 不少地方取代双极型晶体管。功率MOSFET主要用于计算机外设(软、 硬驱动器、 打印机、 绘图机)、 电源(AC/ DC变换器、 DC/ DC变换器)、 汽车电子、 音响电路及仪器、 仪表等领域。本文将介绍功率MOSFET的结构、 工作原理及基本工作电路。“MOSFET”是英文MetalOxide Semicoductor Field Effect Transistor的缩写, 译成中文是“金属氧化物半导体场效应管”。它是由金属、 氧化物(SiO2或SiN)及半导体三种材料制成的器件。所谓功率MOSFET(Power MOSFET)是指它能输出较大的工作电流(几安到几十安), 用于功率输出级的器件。图1是典型平面N沟道增强型MOSFET的剖面图。它用一块P型硅半导体材料作衬底(图la), 在其面上扩散了两个N型区(图lb), 再在上面覆盖一层二氧化硅(SiQ2)绝缘层(图lc), 最后在N区上方用腐蚀的方法做成两个孔, 用金属化的方法分别在绝缘层上及两个孔内做成三个电极:G(栅极)、 S(源极)及D(漏极), 如图1d所示。
从图1中可以看出栅极G与漏极D及源极S是绝缘的, D与S之间有两个PN结。一般情况下, 衬底与源极在内部连接在一起。图1是N沟道增强型MOSFET的基本结构图。为了改善某些参数的特性, 如提高工作电流、 提高工作电压、 降低导通电阻、 提高开关特性等有不同的结构及工艺, 构成所谓VMOS、 DMOS、 TMOS等结构。图2是一种N沟道增强型功率MOSFET的结构图。虽然有不同的结构, 但其工作原理是相同的, 这里就不一一介绍了。要使增强型N沟道MOSFET工作, 要在G、 S之间加正电压VGS及在D、 S之间加正电压VDS, 则产生正向工作电流ID。改变VGS的电压可控制工作电流ID。如图3所示(上面↑) 。若先不接VGS(即VGS=0), 在D与S极之间加一正电压VDS, 漏极D与衬底之间的PN结处于反向, 因此漏源之间不能导电。如果在栅极G与源极S之间加一电压VGS。此时可以将栅极与衬底看作电容器的两个极板, 而氧化物绝缘层作为电容器的介质。当加上VGS时, 在绝缘层和栅极界面上感应出正电荷, 而在绝缘层和P型衬底界面上感应出负电荷(如图3)。这层感应的负电荷和P型衬底中的多数载流子(空穴)的极性相反, 所以称为“反型层”, 这反型层有可能将漏与源的两N型区连接起来形成导电沟道。当VGS电压太低时, 感应出来的负电荷较少, 它将被P型衬底中的空穴中和, 因此在这种情况时, 漏源之间仍然无电流ID。当VGS增加到一定值时, 其感应的负电荷把两个分离的N区沟通形成N沟道, 这个临界电压称为开启电压(或称阈值电压、 门限电压), 用符号VT表示(一般规定在ID=10uA时的VGS作为VT)。当VGS继续增大, 负电荷增加, 导电沟道扩大, 电阻降低, ID也随之增加, 并且呈较好线性关系, 如图4所示。此曲线称为转换特性。因此在一定范围内可以认为, 改变VGS来控制漏源之间的电阻, 达到控制ID的作用。
由于这种结构在VGS=0时, ID=0, 称这种MOSFET为增强型。另一类MOSFET, 在VGS=0时也有一定的ID(称为IDSS),这种MOSFET称为耗尽型。它的结构如图5所示, 它的转移特性如图6所示。VP为夹断电压(ID=0)。
耗尽型与增强型主要区别是在制造SiO2绝缘层中有大量的正离子, 使在P型衬底的界面上感应出较多的负电荷, 即在两个N型区中间的P型硅内形成一N型硅薄层而形成一导电沟道, 所以在VGS=0时, 有VDS作用时也有一定的ID(IDSS);当VGS有电压时(可以是正电压或负电压), 改变感应的负电荷数量, 从而改变ID的大小。VP为ID=0时的-VGS, 称为夹断电压。除了上述采用P型硅作衬底形成N型导电沟道的N沟道MOSFET外, 也可用N型硅作衬底形成P型导电沟道的P沟道MOSFET。这样, MOSFET的分类如图7所示。
为防止MOSFET接电感负载时, 在截止瞬间产生感应电压与电源电压之和击穿MOSFET, 一般功率MOSFET在漏极与源极之间内接一个快速恢复二极管, 如图8所示。1. MOSFET是电压控制型器件(双极型是电流控制型器件), 因此在驱动大电流时无需推动级, 电路较简单;3. 工作频率范围宽, 开关速度高(开关时间为几十纳秒到几百纳秒), 开关损耗小;4. 有较优良的线性区, 并且MOSFET的输入电容比双极型的输入电容小得多, 所以它的交流输入阻抗极高;噪声也小,最合适制作Hi-Fi音响;5. 功率MOSFET可以多个并联使用, 增加输出电流而无需均流电阻。电池反接保护电路如图9所示。一般防止电池接反损坏电路采用串接二极管的方法, 在电池接反时, PN结反接无电压降, 但在正常工 作时有0.6~0.7V的管压降。采用导通电阻低的增强型N沟道MOSFET具有极小的管压降(RDS(ON)×ID), 如Si9410DY的RDS(ON) 约为0.04Ω, 则在lA时约为0.04V。这时要注意在电池正确安装时, ID并非完全通过管内的二极管, 而是在VGS≥5V时, N导电沟道畅通(它相当于一个极小的电阻)而大部分电流是从S流向D的(ID为负)。而当电池装反时, MOSFET不通, 电路得以保护。一种简单的触摸调光电路如图10。当手指触摸上触头时, 电容经手指电阻及100k充电, VGS渐增大, 灯渐亮;当触摸下触头时, 电容经100k及手指电阻放电, 灯渐暗到灭。由R1、 R2建立VGS静态工作点(此时有一定的ID流过)。当音频信号经过C1耦合到栅极, 使产生-△VGS, 则产生较大的
△ID, 经输出变压器阻抗匹配, 使4~8Ω喇叭输出较大的声功率。图ll中Dw为9V稳压二极管, 是保护G、 S极以免输入过高电压
而击穿。从图中也可以看出, 偏置电阻的数值较大, 因为栅极输入阻抗极高, 并且无栅流。
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