晶圆为什么是圆不是方,又为什么有个缺口?
来源:今日半导体 发布时间:2021-08-26 分享至微信
图1:圆形的wafer&方形的Die
为什么晶圆是圆形的?
图2:一切要精挑细选的石英砂开始
图3:熔融提拉过程
图4:这大家伙就是拉好的单晶硅了
图5:随后硅锭在经过金刚线切割变成硅片
图6:之后就有了你看到的晶圆了
顺便提一下晶圆的尺寸
图7:晶圆尺寸发展
但其实晶圆也不是很圆!
图8:晶片上的Flat&Notch
图9:12寸硅片Notch(V槽)
图10:6寸硅片Flat(平槽)
作者:Alpha
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