耗资十亿拿下12英寸晶圆市场,中国首家12英寸晶圆厂量产
来源:半导体设备资讯站 发布时间:2021-08-22 分享至微信

硅晶圆是硅芯片制造的根本原料。美国对我国半导体厂商的打压、制裁,给我国半导体行业造成冲击的同时,也让我们意识到了自己的不足以及半导体核心技术的重要性。在我国大力扶持半导体行业的背景下,又一家企业成功打破技术垄断,完成半导体核心技术从无到有的蜕变。

老规矩,开门见山。2021年7月15日,合肥官方新闻报道:合肥至微半导体投建的12英寸晶圆制造链正式量产。值得一提的是:这座12英寸晶圆厂,是我国首家立项并实现量产的晶圆厂。

合肥至微半导体破冰成功的12英寸晶圆厂,填补了我国半导体供给链的又一处空白,解决了我国在12英寸晶圆原料供给中的短板。补充一点,与硅芯片制程工艺的定义标准不同;一般来说;规格尺寸越大的晶圆,生产难度越高。

据了解,合肥至微半导体量产成功的12英寸晶圆厂,是我国面向高端芯片市场的首条12英寸晶圆再生生产线。目的是解决国产半导体在14纳米芯片制程中被国外12英寸晶圆材料“卡脖子”的问题。实现并完成我国在12英寸晶圆材料上自给自足的目标。

在这里穿插一点,合肥至微半导体是至纯科技旗下的一家负责“半导体晶圆再生和部件再生”项目的载体。至纯科技前不久量产成功的28纳米湿法清洗设备已经交付给中芯国际、华虹集团使用,有关14纳米、7纳米制程的清洗设备将于2022年交给华为、中芯国际等国产厂商进行客户认证。

回到“合肥至微半导体实现12英寸晶圆量产”这件事情上。合肥至微半导体称,该座晶圆厂在完成所有项目的投建后,预计晶圆年产量可达168万片,满产后产值将超过6亿元。此外,合肥至微半导体还具备120万件零部件清洗能力,毕竟是国产清洗设备巨头至纯科技旗下的,清洗功底自然差不了。

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