大族激光：研发光刻机，今年有望实现小批量销售

近日，互动平台有投资者提问大族激光：公司在光刻机领域目前都有哪些研究进展?与国内哪些光刻机厂商有哪些合作?

对此，大族激光回复表示，公司在研光刻机项目分辨率3-5μm，主要聚焦在分立器件、LED等领域的应用，今年有望实现小批量销售。

据悉，大族激光是亚洲最大、世界排名前三的工业激光加工设备生产厂商，主要产品包括激光打标机系列、激光焊接机系列、激光切割机系列、新能源激光焊接设备、激光演示系列、PCB钻孔机系列、工业机器人等多个系列200余种工业激光设备及智能装备解决方案。

众所周知，高端芯片制造所需的光刻机一直以来被荷兰ASML公司垄断，一台精密光刻机售价上百亿，而我国半导体行业起步较晚，光刻机技术与ASML的差距非常大。而近年来，“国产芯片”概念炙手可热，其中光刻机作为中国半导体的短板，更是大众关注的焦点。目前，已有不少公司加大投入研发光刻机，努力填补我国在高端光刻机领域的空白。