Park Systems携明星级原子力显微镜闪耀亮相SEMICON China 2023

➢与时俱进的我们

Park原子力显微镜公司（Park Systems）成立于1988年，是全球第一个推出商业原子力显微镜产品的上市公司。Park成立30多年来，始终致力于纳米领域的形貌和力学测量，以及半导体先进制程工艺新技术新产品的开发，并将“助力科学家和工程师解决世界上最紧迫的问题”作为自己的科学使命。

在这个飞速发展的纳米科技世界，期待我们的相遇能奏出这个时代最强的音符!

SEMICON China 2023
Park展位：E5135 (E5馆三号门入口处)

➢独创的前沿科技

纳米技术飞速发展，以研究为内驱力的产品能与时俱进地创新，是 Park 能在学术领域全球领先并且和工业客户取得长期合作的显著原因。

Park原子力显微镜全系列产品中融入一流的 AFM 架构、True Non-Contact™ 模式和 SmartScan™ 技术，避免形貌扫描过程中因探针磨损带来的图像失真，快速成像的同时还可以大大提高测试效率，降低实验测试成本。为当今最严苛的纳米级应用提供最前沿的自动化和最精密的准确性。

➢高效赋能的名星产品

安全修复 - Park NX-Mask
用于修复高端EUV光罩的创新型机台

凭借其独有的非接触式AFM技术，Park NX-Mask不仅能精确计算缺陷数量并且精准定位缺陷位置，还能获悉每种颗粒和缺陷的各类信息。除此之外，Park NX-Mask还配有新一代的光罩修复系统，用于解决随着器件尺寸缩小和光罩复杂性增加带来的新式挑战。

从自动缺陷检测到缺陷修复再到修复验证的一站式解决方案为您提供了前所未有的修复效率，让您的研究工作事半功倍。

精准高效 - Park NX-Wafer
低噪声，高吞吐量自动化原子力轮廓仪

Park NX-Wafer是业界领先的半导体及相关制造业自动化AFM计量系统。该系统能提供晶圆制造厂检查和分析、裸晶圆和衬底的自动缺陷检测以及CMP轮廓测量。Park NX-Wafer具有最高的纳米级表面分辨率和亚埃级的高精度。在持续扫描后，探针针尖的变化可以忽略不计地同时具有高超的针尖锐度保护力。

·低噪声原子力轮廓仪，用于更精准的CMP轮廓测量

·亚埃级表面粗糙度测量，能够扫描300mm晶圆

·用于缺陷成像和分析的全自动AFM解决方案

·全自动系统，包括自动探针更换、机器人晶片搬运

·具有极高的精度和极长的探针使用寿命

独创通用 - Park NX-HybridWLI

Park NX-Hybrid WLI是途今为止首个内置白光干涉仪轮廓测量的AFM系统。它完美集成了自动化工业AFM系统和WLI轮廓仪。与前两种单独的工具解决方案相比，它能有效地节约成本、减少设备占用空间并能提供全新的最佳计量解决方案。

Park NX-Hybrid WLI使用的WLI模块能在相当宽广的区域提供高吞吐量成像，并使用AFM在感兴趣的区域提供亚埃高度分辨率的纳米尺度计量。

Park NX-Hybrid WU提供了从大面积扫描到纳米级计量的终极解决方案，可适用于各种应用，包括质量保证、自动缺陷检测、前端半导体工艺控制和后端先进封装。

➢便捷优质的售后服务

Park成立至今，竭心致力于新产品和新技术的开发，为客户解决各种技术难题，提供最完善的解决方案。Park的原子力显微镜以高尖端的产品质量和快捷优质的售后服务受到广大客户的认可。

为了给客户提供高效便捷且全面可靠的售后服务，韩国帕克股份有限公司在各处配有售后服务中心，并设立六大常用备件库。

如有问题，欢迎咨询

400-878-6829
www.parksystems.cn

Park北京分公司
北京市海淀区彩和坊路8号天创科技大厦518室
Park上海实验室
上海市闵行区丰虹路199号德必虹桥国际WE 5号楼118
Park广州实验室
广州市天河区五山路200号天河北文创苑B座211

点击关注SEMI

SEMI产业投资平台