年产15000片，合肥一化合物晶圆项目最新进展，预计6月中旬封顶

1，欧益化合物半导体射频及毫米波器件项目预计6月中旬封顶

近日，位于合肥综保区内的欧益项目传来新进展。

图源：合肥新站区

合肥新站区消息显示，欧益项目于今年4月破土动工，预计6月中旬封顶。该项目建成并投产后，将具备年产1.5万片6英寸化合物半导体微波射频集成电路晶圆生产能力，加速集成电路产业集群化、园区化、特色化发展。

去年11月，合肥新站高新技术产业开发区经贸发展局发布合肥欧益睿芯科技有限公司化合物半导体射频及毫米波器件项目节能报告的审查意见。当时消息显示，合肥欧益睿芯科技有限公司化合物半导体射频及毫米波器件项目6英寸化合物半导体射频器件生产线，主要生产工序包括干刻、湿刻、成膜、扩散、光刻、背面工艺及测试等。项目建成并投产后，年产6英寸化合物半导体射频芯片15000片/年（其中GaAs产品10000片/年，GaN产品5000片/年）。

近年来，新站高新区聚焦“芯屏汽合”，奋力打造新型显示、新能源及新材料两个千亿级产业集群，着力培育集成电路、大健康、智能制造等五个超百亿级支柱产业集群。

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