新增订单持续增长，至纯科技2022年营收同比增长46.32%

集微网消息，4月7日，至纯科技公布2022年年度报告，公司营业收入30.5亿元，同比增长46.32%，归属于上市公司股东的净利润2.82亿元，同比增长0.24%，归属于上市公司股东的扣除非经常性损益的净利润2.85亿元，同比增长76.03%，基本每股收益0.889元/股，拟每10股派发现金红利1.324元，并每10股派送红股2股。

至纯科技表示，按照年初既定新增订单目标持续努力，在国产替代进程中砥砺前行。2022年度，公司新增订单总额为42.19亿元，同比增长30.62%，其中半导体制程设备新增订单18.00亿元，同比增长60.71%。

报告期内，在湿法清洗设备之外，拓展了目前国内市场需求较大的炉管、涂胶显影设备等。系统集成业务受益于国内市场资本开支的带动，近年来均有稳步增长，目前80%服务于半导体领域，由原来单纯的高纯工艺系统建设调整为系统与支持设备并举，业务结构的变化带来了毛利率的提升和现金回流的加速。在稳定运营期，公司为客户提供部件材料与专业服务，涵盖设备零部件的供应、大宗气站服务、部件清洗服务、晶圆再生服务、晶圆工厂驻厂服务等。公司的核心业务紧紧围绕为晶圆厂提供从前期建设到稳定运营阶段全生命周期的产品和服务。

由于2022年下半年美国新一轮限制对下游客户的扰动，湿法设备新增订单略低于公司年初预期，在外部形势的倒逼下，客户采购策略正逐步调整。系统集成及材料、设备业务持续发力。公司湿法清洗设备能完全覆盖晶圆制造中包括先进制程逻辑电路、高密度存储、化合物半导体特色工艺等多个细分领域的市场需求。目前公司湿法设备已能满足28nm全部湿法工艺需求，且全工艺机台均有订单。截至目前，核心工序段的高阶设备累计订单量近20台。公司依靠专业度高、技术能力强的核心人才队伍，率先突破14nm及以下制程的湿法设备的研发，进一步提高行业壁垒，奠定国内专业湿法设备供应商的领先地位。14nm及以下也有4台订单交付。

至纯科技指出，以支持设备为主的系统集成业务仍保持持续增长，订单再创新高。公司已成为国内最大的高纯工艺系统支持设备供应商，目前支持设备业务量接近系统集成业务总量的40%，有效替代并改变了原先由国外气体公司垄断的供给格局。公司系统集成及支持设备国内龙头地位稳固，公司系统集成及支持设备已经能够实现ppb（十亿分之一）级的不纯物控制，核心技术强于国内竞争者，个别功能超越国际品牌。核心客户均为行业一线集成电路制造企业如中芯国际、华虹、华力、长江存储、合肥长鑫、士兰微等。

在稳定运营期，公司为客户提供部件材料与专业服务，涵盖设备零部件的供应、大宗气站服务、部件清洗服务、晶圆再生服务、晶圆工厂驻厂服务等。基于国内市场上现有晶圆产线运转的保有量，已在合肥建有国内首条完整部件清洗阳极产线，为晶圆厂或设备厂提供设备内部件的清洗与表面处理。2022年度，受外部环境影响，验证进度略有延误。至报告期末，已通过近十位客户验证并形成订单。

至纯科技称，2022年初，国内首座完全国产化的12英寸晶圆先进制程大宗气体供应工厂建成，指标完全达标，目前已稳定供气一年多，成功打破了原先由国际三大供应商的垄断，实现了国内自主建设大宗气站零的突破。

基于目前国内尚有一些品类的半导体工艺设备依赖进口的大背景，公司跟动市场需求，整合现有人才及技术，研发拓展炉管和涂胶显影设备。8英寸炉管设备已有数台订单，12英寸炉管设备正在研发制造，即将进入客户验证阶段。8英寸涂胶显影设备已交付客户验证，12英寸涂胶显影设备尚处在专利检索及技术评估阶段。

2022年光伏产业异军突起，国内主流企业电池量产速度加快。至纯科技迅速抓住市场机遇，2022年下半年首台单晶槽式制绒清洗设备下线，历史性的创造了从决策制造制绒设备到拿到订单且交付时间最快（仅用时60天）的记录，团队克服重重困难，为客户定制了非标制绒设备。后续公司很快拿到了近60台制绒设备订单，目前在陆续交付中。