制裁扩大化，荷兰拟实施DUV出口新规

前言：

在美国持续施压对华禁运关键半导体技术的情况下，荷兰政府正准备对半导体设备实施新的出口限制。

荷兰方面已将光刻机出口管制的范围，由最先进的极紫外光刻机(EUV)扩大到了DUV。

ASML更先进的EUV光刻机已经于2019年就禁止向中国销售。

如今，受荷兰即将出台的法规影响，ASML需要申请出口许可证才能装运其DUV光刻机。

荷兰拟实施DUV出口新规

在跟美国政府达成协议1个多月后，当地时间3月8日，荷兰政府以[国家安全]为由，宣布将对包括[最先进]的深紫外光刻机(DUV)在内的特定半导体制造设备实施新的出口管制。

荷兰政府于表示，计划对半导体技术出口实施新的管制，并加入美国对华芯片出口管制的行列。

荷兰贸易部长列斯杰·施赖纳马赫尔在致立法者的一封信中表示，荷兰政府考虑了[技术发展和地缘政治背景]，这些规定预计将在夏季之前公布。

她的信中没有提到荷兰的主要贸易伙伴中国，也没有提到荷兰半导体设备主要供应商ASML，但中国和ASML都将受到影响。

信中指出:其中一项将受到影响的技术是DUV光刻技术，这是ASML销售给电脑芯片制造商的第二先进设备。

至于实施管制的理由，荷兰外贸与发展合作大臣施赖纳马赫尔在给国会的一份声明中表示，鉴于[技术发展]和[地缘政治环境]，为了防止荷兰的技术被用于[军事用途或大规模杀伤性武器系统]，并希望荷兰保持[领先地位]，荷兰政府认为有必要实施[出口管制]。

虽然荷兰政府在声明中藏着掖着、没有提及任何其他公司和国家，但是美国《政客》网站指出：此举完全是迫于美国的压力才做出的，尽管就在上个月，荷兰外交大臣胡克斯特拉还表示，将继续根据本国利益作出独立的判断。

仍留有一道口子

ASML指出:重要的是要考虑到额外的出口管制并不适用于所有的浸入式光刻工具，而只适用于所谓的[最先进的]。

虽然ASML没有收到任何关于[最先进]的确切定义的额外信息，但ASML将其解释为[临界沉浸式]。

根据官网公布的产品信息，ASML在售的浸没式DUV光刻机主要有三大型号：TWINSCAN NXT:2050i、TWINSCAN NXT:2000i和TWINSCAN NXT:1980Di。

根据ASML的解读，其NXT:2000i及之后的浸没式光刻系统将会受到出口限制。

这也意味着，NXT:1980Di仍将可以出口，即国内大量采用NXT:1980Di进行成熟制程制造的晶圆厂将不会受到影响。

但也有内部人士称，允许出口的NXT:1980Di将被限制部分软硬件性能。

ASML在官网介绍称，NXT:1980Di的分辨率可以达到≤38nm，每小时可以生产275片晶圆。

与NXT:2000i一样，这种步进式扫描系统是一种高生产率的双级浸没式光刻工具，专为先进节点的300mm晶圆批量生产而设计。

通过多重曝光，NXT:1980Di依然可以支持7nm左右工艺，如台积电第一版7nm工艺，但这可能会面临步骤更复杂、成本更高以及良率损失等问题。

鉴于此，目前NXT:1980Di更多还是被用于45nm以下成熟制程的生产。

可以说NXT:1980Di还能卖，给国内后续N+1、N+2工艺留了一口气。

TWINSCAN NXT:2000i DUV(双工作台深紫外光刻机)曾是ASML最先进的浸没式光刻系统，也是EUV光刻机之前的重要过渡产品，同时是后期7nm/5nm产能的重要补充。

在没有获得极紫外光刻机(EUV)的情况下，芯片代工厂都是利用193nm水浸没式光刻机，多次曝光实现7nm逻辑芯片的光刻工艺流程。

ASML表示：先进程度相对较低的浸没式光刻系统，已能很好满足成熟制程为主的客户的需求。

如果ASML的说法正确，那么荷兰的新规定可能达不到美国对芯片设备行业施加的限制要求。

东方证券认为，中国 10nm 及更成熟制程光刻机的进口并不受本次限制影响。

由此可见，荷兰实际实施的禁运措施比美国去年10月的芯片管制新规更加宽松，当时发布的管制新规禁运美国14nm及以下设备。

中国市场对荷兰设备巨头同样重要

早在2018年，美国政府游说荷兰政府禁止ASML对华出口EUV光刻机，ASML无法向中国出口EUV光刻机。

随后中国产业界寄希望于部分较先进的DUV产品，即ArFi，通过工艺改良实现14nm甚至更先进的制程，这一类光刻机荷兰ASML、日本尼康为全球唯二的供货商。

财报显示，2022年，ASML公司ArFi产品的出货量为81台，而尼康在截至2021年3月31日的一年，ArFi产品出货量仅为3台。

就在2月，ASML预测2023年销售额将增长25%，其中对中国的销售额稳定在22亿欧元左右，约占总销售额18%。

另据ASMI首席财务官保罗·沃黑赫表示，新规限制将影响的产品占对华销售额的七分之一到四分之一，占集团销售额3%左右。

但据ASMI去年11月份的预估，美国出口管制将对其造成欧洲主要芯片公司里最严重的冲击，影响到ASMI对华40%销售，占总营收达16%。

可见即便不出口最先进设备，中国市场对ASML也尤为重要。

ASML首席执行官Peter Wennink 在接受采访时表示，美国主导的针对中国的半导体出口管制措施，最终会促使中国在高端芯片制造设备领域成功研发出自己的技术。

事实上，荷兰企业家也认可这个事实，与其对中国半导体行业围追堵截，加以制裁，最后造成多输的局面不如和中国搞好关系扩大贸易，可以达到多赢局面。

结尾：

正如伟大哲学家尼采说的，杀不死我的终将使我强大。

美国针对中俄两国都进行了长达十几年的制裁和封锁，但如今让美国很郁闷的是，针对俄罗斯的封锁效果很显著，现在俄罗斯的国力提升举步维艰，但是针对中国的封锁却毫无效果，尤其是中国半导体产业越制裁中国反而越强大，这让西方很多专家都百思不得其解。

对此有俄国专家一语道破天机：[中国的诀窍谁也学不会]。

部分资料参考：财联社:《阿斯麦回应荷兰最新出口管制：并不涵盖所有浸没式DUV》,镁客网：《ASML DUV光刻机设备出口受限，今夏前实施》

原文标题:AI芯天下丨热点丨制裁扩大化，荷兰拟实施DUV出口新规