集微网消息,在上海公布的“2022年上海市重大建设项目清单”中,积塔半导体特色工艺生产线项目作为在建类项目继续“上榜”。
积塔半导体特色工艺生产线项目,2017年签约落户上海临港,2018年8月开工建设,2019年12月首台光刻设备搬入,2020年3月正式投片,2020年6月投产仪式举行。公开信息显示,该项目总投资359亿元,目标是建设月产能6万片的8英寸生产线和5万片12英寸特色工艺生产线。
自2018年项目开工以来,上海积塔半导体就已发布多条招标信息,并成功采购多台工艺设备,包括光刻机、涂胶显影设备、离子注入机、刻蚀机、清洗设备、干法去胶机等。
招标平台数据显示,2022年3月1日-23日,上海积塔半导体陆续采购探针台、匀胶显影机、氧化膜接触孔刻蚀机等多台设备。
同时,集微网不完全统计显示,2022年3月1日-23日,上海积塔半导体发布的设备类招标信息中,招标设备超80台,包括金属等离子刻蚀机、多晶硅刻蚀机、ArF 匀胶显影机、KrF 匀胶显影机、PCM 探针台、背面金属溅射设备等。
2021年11月30日,上海积塔半导体有限公司宣布完成80亿元战略融资。本轮融资将极大助力积塔半导体发挥自身车规级芯片制造优势,加大车规级电源管理芯片、IGBT和碳化硅功率器件等方面制造工艺的研发力度,加快提升汽车电子制造产能,进一步巩固和发展积塔在车规级模拟和功率器件领域的制造优势,实现成为我国领先的特色工艺生产线目标。
2021年12月31日,上海积塔半导体有限公司发生工商变更,新增多位股东,注册资本由40亿元增至93.21亿元。
融资后的积塔半导体建设速度或加快。(校对/小北)